【摘 要】
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该文从麦克斯韦电磁波理论出发建立了适合于钛扩散掺铒铌酸锂(Ti:LiNbO)波导的变分方程,然后根据变分方程编制了用于计算波导模场尺寸和有效折射率的C程序.利用该程序,在考虑
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该文从麦克斯韦电磁波理论出发建立了适合于钛扩散掺铒铌酸锂(Ti:LiNbO<,3>)波导的变分方程,然后根据变分方程编制了用于计算波导模场尺寸和有效折射率的C程序.利用该程序,在考虑波长1.53μm的情况下,我们对Z切钛扩散铌酸锂条波导中的导模模场尺寸和有效折射率进行了计算、分析,获得了几个低阶模式的有效折射率及模场尺寸对波导初始宽度、初始厚度、及扩散温度等制备参数的依赖关系,并根据波导理论,总结了工作在1.53μm的单模、多模、截止波导的波导制备工艺参数.为了验证理论结果,我们分别制备了X切宽度6μm、厚度100nm、扩散温度1060℃、扩散时间10小时及Z切宽度10μm、厚度100nm、扩散温度1050℃、扩散时间9小时的钛扩散铌酸锂条波导,并用波长632.8nm、1510-1590nm光源做了通光实验.经过和参考文献的实验数据及我们自己的初步实验结果比较,发现实验数据中所给出的单模波导的初始宽度、初始厚度及扩散温度均包含在我们的计算结果之中,从而验证了我们的理论结果.
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