数字球径仪是对传统球径仪的革命，本文主要介绍了一种莫尔条纹信号软硬件相结合的细分方法及其装置在数字球径仪的应用。根据曲率半径测量原理，构造了数字球径仪硬件系统，采用数字信号处理器DSP，并与放大电路、滤波电路、辨向电路、鉴零电路、A／D转换电路、计数系统和显示电路等外部电路相结合，实现了莫尔条纹信号200倍频的快速细分，系统分辨力可达50nm。 系统通过差动放大器和滤波电路改善了莫尔条纹原始信号的质量，降低了高次谐波的干扰，采用内置的高速10位A／D转换器提高了模拟数字量的转换精度，减少了系统元器件的数量并提高了系统的稳定性和可靠性，利用数字信号处理器DSP完成软件幅值相位法细分，数据处理时间小于12ns，有效地缩短了数据处理时间，提高了系统的响应频率。通过软、硬件技术的有机结合，将光栅测量技术应用于曲率半径测量中，给球径仪带来广阔的发展前景。