【摘 要】
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微电子是信息时代的支柱产业,芯片的更新速度特别快,而生产芯片的设备又极其昂贵,因此研究推广半导体生产线的优化调度技术具有重要的理论意义与实际价值.关于这个问题虽有不
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微电子是信息时代的支柱产业,芯片的更新速度特别快,而生产芯片的设备又极其昂贵,因此研究推广半导体生产线的优化调度技术具有重要的理论意义与实际价值.关于这个问题虽有不少相关的研究报道,但离能产生巨大经济效益的实用化技术还有不小的差距.半导体生产线调度的直接目的是获得满足交货期和质量的芯片,同时尽量使制造周期缩短、设备的利用率提高、产量增加.由于半导体生产线具有高度的可重入性、设备特性复杂、严重的随机性与不确定性等特点,因此半导体生产线实际上是一个非线性、时变的复杂系统,采用常规技术难以取得良好的优化调度效果.鉴于半导体生产线的上述特点,该文提出了一种基于递阶控制的半导体生产线优化调度方法,解决了半导体生产线的综合优化调度与控制问题.
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