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导模法β-Ga2O3单晶生长及其光学性能调控
【摘 要】
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半导体材料在现代信息工业化社会中,扮演着至关重要的角色,它是现代半导体工业及微电子制造工业业的基石,支撑着电子信息产业的发展。第三代宽禁带半导体材料之后,金刚石、β-Ga2O3、氮化铝及氮化硼等具备更大的禁带宽度的一类半导体成为研究热点。β-Ga2O3作为新一代超宽禁带透明半导体,受到半导体材料、微电子及光电子器件等领域研究人员的广泛关注。β-Ga2O3禁带宽度可达4.8 eV,远大于传统半导体材
【出 处】
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山东大学
【发表日期】
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2021年12期
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