空气洁净技术广泛应用于微电子工业、精密机械、医疗、生物工程、制药业、塑料制品和食品加工等行业。随着世界经济和科学技术的发展，空气洁净技术的研究不断加强，应用范围日益扩大，空气净化产品和设备日趋完善，设计理念更为先进。在洁净技术中，气流流场的合理设计有着至关重要的意义。研究气流流场的方法有理论分析加实验的方法和计算机模拟计算的方法。实验方法虽直观易行，但费用昂贵，设计周期长，投入的人力多，实验结果存在误差，不具有通用性。随着现代计算机技术的迅速发展，计算机性能的不断提高与价格的不断降低，为CFD(Computational Fluid Dynamics)研究各种流动现象及其规律提供了强有力的物质基础和手段。CFD技术现在已成为暖通技术研究和解决实际问题的不可或缺的手段。与实验法相比，模拟计算的方法能在较短的时间内完成，能较精确地预测气流流场，成本低；在洁净室气流设计时，可预测分析不同方案下洁净室的气流组织的优劣，并可通过改变某些参数的设置来优化气流分布以满足设计要求。论文对影响垂直单向流洁净室中的气流的因素进行综合分析，并得出结论，为洁净室的设计和应用提供参考。在垂直单向流洁净室中，气流的流场特性会影响到洁净室等级及污染物的控制，从而关系到单向流洁净室的洁净效果。作为超大规模集成电路(VLSI)生产环境的单向流洁净室必须满足流线平行度、乱流度及下限风速这三项特性指标。本课题以一个设计洁净度等级为5级的洁净室的工作区气流为研究模型，在两种的回风方式(单侧下回风和两侧下回风)下，对其气流组织进行数值模拟，分析和比较在不同的回风口布置时洁净室的气流组织和气流的分布状况，观察两种形式下的流线平行度的情况。旨在通过运用数值计算的方法对模型房间的气流组织进行模拟，以寻找气流分布与回风方式间的关系。对一实际的工程进行了现场测试，测量了洁净室内典型断面的流速，将测试的结果与数值计算的结果进行对比，以验证数值计算方法和结果的正确性、可靠性。在此基础上，进一步模拟计算设有工作台时该洁净室的气流分布，分析气流的特性指标能否达到单向流的要求，据此解决工程实际问题，以对洁净室提出更经济合理的设计方法，使洁净室能更好的满足实际生产的需要，进一步发展我国的洁净室技术水平。