微机电系统(MEMS)技术极大促进了引信安全系统微型化的发展。本文以用于引信后座保险机构中的高G值微加速度开关为研究对象。对高G值折叠梁式微加速度开关性能分析后，主要研究设计了高G值双稳态微加速度开关。首先从流体阻尼、微摩擦、折叠梁和锁座的刚度三方面分析它们对折叠梁式微开关性能的影响，分析后认为流体阻尼对该开关能否正常触发不造成影响，而微摩擦、折叠梁和锁座的刚度对该开关能否正常触发有重要影响，这与试验结果相符。其次，根据上述分析，本文选择了核心结构为无需施加预应力、双余弦梁式的双稳态微开关作为设计对象，对其工作原理和数学模型作了阐述和推导。通过理论计算和有限元静态分析，确定了该开关的尺寸；针对由于微尺度效应而导致的粘附现象，提出了有关结构、工艺等解决方案。由动力学分析知该开关具有较高的谐振频率，以及良好的抗机械冲击性和抗振动性，这将保证开关的安全性和作用可靠性。在完成双稳态微开关结构设计之后，采用MEMS Pro进行了版图设计，制定出加工工艺流程，详细阐述了其中的关键性工艺。