随着微纳技术的蓬勃发展，微型聚合物元件广泛应用于各种微系统产品，其主要加工方法微注塑成型技术也受到广泛关注。微型特征结构聚合物元件的迅速发展也给微注塑成型技术带来了新的挑战，本文主要就微注塑成型技术中的微注塑合模装置和微注塑工艺两方面进行研究。传统的微注塑机合模机构整体尺寸较大，流道尺寸较长，引起物料浪费严重、能量消耗较多，而合模机构整体尺寸缩小后容易造成锁模力不足，零件强度不够。本研究在对微注塑机合模肘杆机构的运动特性和力学特性进行理论分析基础上，确定了合模肘杆机构参数，并对肘杆机构进行了动力学仿真分析和静力学分析，分析结果表明，设计的微注塑成型装置的合模肘杆机构能够满足慢-快-慢的理想速度特性，并且在能够满足10t锁模力要求前提下，提供足够的刚度和强度。在微注塑工艺方面，本文针对微注塑成型过程中充模不满的问题，通过微针阵列超声波辅助微注塑的实验进行研究，提出了微针阵列超声波辅助微注塑方法，利用自主开发的超声波辅助微注塑模具分别进行了6μm和100μm两种尺寸微针阵列的注塑实验，实验验证了超声波对微针阵列中微针高度的提高作用；通过100μm微针阵列的正交实验对超声波辅助微注塑工艺参数的贡献率进行排序，并且分析了模具温度、熔体温度、注射速度、保压压力和超声波对注塑件微针高度的影响，为解决微注塑充模不满的问题提供一种新的思路。