论文部分内容阅读
本文利用粒子模拟的静电模型，首先模拟了容性双电极射频放电的一些基本特性，分析了鞘层和电子在两极板间振荡的原因。同时讨论了两种增大放电产生等离子体密度的方法——提高射频频率和增大中性气体压强，并说明了提高射频频率会增大等离子体密度的理论根据，以及增大中性气体压强后在粒子密度变化图象出现多峰的原因。
其次利用粒子模拟的电磁模型分别模拟了低压和高压情况下外加弱磁场对容性放电性能的影响，发现低压情况下放电产生的等离子体密度迅速增加；高压情况下，弱磁场对等离子体密度没有明显的影响。
最后利用粒子模拟的静电模型对等离子体离子注入过程进行了模拟，通过粒子密度变化图象描述了等离子体离子注入的基本过程，同时模拟了不同脉冲负偏压下的离子注入过程，发现脉冲负偏压越大，鞘层内离子密度降低的越快，注入过程越明显。另外，还对氩和氢两种离子的注入过程进行了对比，发现在几个周期内氢离子注入过程即可完成。