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本论文在深入分析闭环加速度计基本原理的基础上,结合本MEMS中心设计加速度计的经验,利用华润上华CSMC 0.5μm DPDM工艺模型参数设计完成了闭环加速度计信号处理电路。闭环加速度计信号处理电路主要包含两部分:模拟部分与数字部分。模拟部分包含控制开关电路、驱动电路、前级运算放大器、采样保持电路、相位调节电路、单位增益缓冲器、基准电流源、电容补偿阵列、开关电压转换电路。电容阵列的采用,可以在一定程度上弥补由于工艺偏差造成的差分电容容值偏差。电容补偿阵列在没有加速度敏感部分的条件下,也能够