在制造业中,数控机床和加工中心作为关键设备,保证其几何位置精度是一项非常重要的工作。如果精度出现问题,就会对产品的质量产生致命的影响。传统的多自由度误差测量为双频激光干涉法,这种方法在测量过程中既费时又费力,测量完成后数据处理主要由人工处理这样在特别容易发生人为错误。因此,研究一个高效集成的多自由度误差同时测量系统是未来机床高精度检测仪器发展的趋势。本论文主要工作有：(1)分析各自由度误差测量原理,在已有的激光五自由度同时测量方法中选择一种合适的测量方法,该方法在1m的工作距离内,直线度误差测量分辨率为0.1μm,精度在±200μm的范围内达到了3μ m,二维角度误差测量分辨率为0.3"。精度在±200"的范围内达到了2"。(2)在Windows操作系统下,设计基于VC++的激光五自由度同时测量数据采集处理系统。利用阿尔泰公司生产的USB3000数据采集卡完成对各自由度电压信号的采集,并将信号传输到计算机上进行分析处理。