二维光栅测量系统是在一维衍射光栅测量技术的基础上发展起来的，集成了干涉测量的高精度与光栅测量的抗干扰特点，并且易于实现微型化结构，在高精度测量中有着重要的意义。　　根据二维光栅系统的结构和工作原理，影响系统精度的误差主要来源于光路、电路和环境三个方面，其中激光光源误差、光栅刻划的累积误差、导轨直线度误差以及温度误差是影响系统精度的主要误差源。在此基础上，提出了相应的精度保证措施：采用共平面设计，使二维光栅面与二维导轨运动面重合，最大程度地减小导轨直线度引起的垂直面上的阿贝误差；采用分布反馈式激光二极管作为光源，抑制温度变化的跳模现象，减小激光光源误差；采用偏振干涉方法，使光束产生π/2的相位差，减小轴向定位误差的影响。　　除了从硬件上提高系统精度之外，还提出通过误差修正技术进一步减小误差对测量精度的影响。首先确定误差修正对象，根据其传递关系建立误差修正模型；然后设计各项误差的分离方案，将两维测量平面分割成一个个网格，测试各网格节点的两维误差值。　　采用三次样条函数对所测得的误差点进行拟合，得到完整的误差曲面，应用MATLAB软件仿真出误差曲面图形，并由此进行插值计算，确定两维平面上任意点的误差，代入误差模型实现误差修正。