多功能扫描探针显微镜的研制与应用

来源 :中国地质大学 中国地质大学(武汉) | 被引量 : 0次 | 上传用户:bard
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该文在介绍了探针显微镜的发展现状、原理的基础上,着重介绍了CSPM-930b型多功能扫描探针显微镜的研制及其在工业领域和材料领域中的应用.描探针显微镜设计成由以下几个单元组成:其中电路控制系统、计算机软硬件系统等相似性强的部分尽可能具有兼容性;探针显微镜主体一分为二,扫描驱动部分设计成通用底座,根据不同用途更换不同的探头,从而达到多功能的目的.为了便于操作,作者还设计了与SPM联用的光学显微镜及CCD监视系统,使视野覆盖从原子水平到微米的不同区域.
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