论文部分内容阅读
CMP设备抛光头压力自动加载系统设计与研究
【机 构】
：
广东工业大学
【出 处】
：
广东工业大学
【发表日期】
：
2018年01期
其他文献
塔里木盆地奥陶系油气资源潜力大,成藏条件好,特别是塔河地区奥陶系碳酸盐岩缝洞型储层是寻找大型油气田的主要目标之一.储集空间主要为岩溶缝洞和构造裂缝.由于碳酸盐岩储层
在基于虚拟样机技术的复杂产品开发中，协同仿真和多学科产品协同设计技术是主要的关键使能技术，可以对复杂产品的设计、开发提供强有力的支持，已经成为产品设计领域仿真应用的重
习作教学是小学语文课程中是最重要的一环,小学生正处在基础知识储备的重要阶段,但是他们在习作上容易出现畏难心理,在课上集中注意力的时间较短.习作课可以开阔学生的写作思
我国经济持续高速发展，对电能需求日益增大，输电网络向超高压、超大电流方向发展，传统的电磁式电流互感器由于自身绝缘结构复杂，耗材多，造价高，充油易爆，易受电磁干扰的缺点已不能满
进给系统作为数控机床的关键组成部分之一,其响应特性的好坏直接决定了数控机床的加工精度与切削效率。基于模态缩减法建立的机床进给系统机电耦合模型,能够完整的描述实际数
随着我国经济水平的提高及综合实力的加强，深冷处理的研究及应用不断得到重视，也逐步深入，主要针对工具、刀具与模具的处理，并逐步扩展到航空航天领域、汽车制造业、军事领域等诸
工程计量作为质量技术监督中的一个重要板块,其对于工程建设来说具有至关重要的作用.如果在工程建设的过程中没有做好工程计量,那么后续的整个工程体系中的各项数据的精确性
在汽车行业中,广泛使用各种等速万向节,它是汽车中的重要传动部件,在汽车行进中承担传递驱动力和转向的任务。因而等速万向节的加工精度要求高,其中等速万向节沟道的高速高精
近些年来,人们随着对自然界生物表面特性的研究,从中得到了很大的启发,根据荷叶效应人们发现疏水材料表面在自清洁、流体运输、防腐降阻等方面有非常好的潜在优势,因此对于超
微电子封装技术的迅猛发展,带动了封装设备制造业的发展,作为封装工艺中的关键设备,胶液分配系统也得到了迅速发展。胶液喷射分配技术因其突出的优点而受到重视以及得到越来