80年代发展起来的扫描隧道显微镜(STM)不仅可作为研究各种表面性质的一种分析手段,还可作为一种在纳米尺度上对各种表面进行刻蚀和修饰的微/纳加工工具。利用扫描隧道显微技术对金属表面进行显微电化学刻蚀的方法,其构思与方法新颖,具有极高分辨率的空间选择性和加工对象的普适性,显示了STM在微/纳加工领域的潜能。本文提出了STM高分辨率电化学刻蚀的二次高度定位方法,讨论了电化学刻蚀的基本原理和实验特点。自行设计了STM电化学刻蚀加工装置,并在不锈钢表面刻蚀出了特征结构,根据刻蚀图案分析了影响刻蚀分辨率的因素。根据STM镜体与样品台的特点,设计了STM的电化学刻蚀电解池。自行设计、组装、调试了一套电化学腐蚀针尖的装置和电路,分析并验证了本装置和电路的优越性。应用本装置加工针尖所得的STM图像具有很高的分辨率。另外,我们利用清漆对探针尖端以外的部分进行了绝缘封装,并利用此绝缘探针在0.5mol/l NaCl溶液中得到了光栅表面的STM图像。以上工作为STM高分辨表面电化学加工研究奠定了坚实的基础。由于EMI-1图像仪所得图像文件的格式特殊(后缀名为IMG),难以被常用的看图软件读取,本文以Visual C++为工具,开发出了Windows下的格式转换平台,将IMG文件格式转换为BMP格式。