当前,传统的湿度测量方式存在精度低、无法直接获得湿度信息等不足,己经无法满足当代社会发展的需要。环境湿度与人类的健康息息相关,在工业过程化、气象环境、民生健康等领域,经常需要对湿度进行高精度测控。因此,积极探索开发高精度、高灵敏度、稳定性良好的湿度传感器具有重要的意义。本文以石英晶体微天平（QCM）为传感器件,制备了基于MOFs衍生二氧化钛薄膜QCM传感器、基于MOFs衍生钴酸锌/聚吡咯薄膜QCM传感器、基于MOFs衍生氧化锡/壳聚糖薄膜QCM传感器、基于MOFs衍生氧化钴/聚乙烯醇薄膜QCM传感器,围绕传感器的各项湿敏性能及传感机理展开研究。首先,采用水热法、原位聚合法、共沉淀法等材料合成方法制备用于湿度检测的MOFs衍生金属氧化物及高分子聚合物,并采用喷涂及原位聚合等方法制备了高性能的QCM湿度传感器。利用XRD、EDS、AFM、SEM、TEM、BET和FT-IR等表征手段对湿敏薄膜材料的元素组成、微观结构、表面形貌、比表面积和化学键位等特性进行了观察分析。随后通过搭建的QCM湿度测试平台,对所制备传感器的动态切换响应、响应/恢复时间、重复性、湿滞特性、选择性、长期稳定性、检测范围等湿敏性能进行了测试。最后从吸附水分子引起微质量变化角度揭示湿敏薄膜对不同湿度环境检测的湿敏机理,对湿敏材料的电学敏感机制进行分析研究,通过水分子吸附动力学模型来深入分析QCM传感器的湿度敏感机理。本文将QCM检测方法应用到湿度检测中,搭建了能快速稳定检测环境湿度的QCM湿度检测系统,实现了对湿度的高精度测量,为湿度检测提供了一种新的途径,并探究了MOFs衍生金属氧化物基QCM传感器的湿敏性能,为推动湿度传感器和湿度检测技术的发展奠定了理论和实验基础。