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AlGaN/GaN肖特基势垒二极管工艺制备与结构优化

来源 :北京工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gzbfy

【摘 要】

：

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【作 者】

：

吴月芳 

【出 处】

：

北京工业大学

【发表日期】

：

2018年01期

【关键词】

：

AlGaN/GaN SBD 欧姆接触 电极布局 浮动金属环 

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