本文的工作以金属-介质薄膜的制备工艺和多腔诱导透射滤光片的缺陷为重心。从单重到多重，从理论到应用，对金属-介质薄膜进行了逐层深入的研究，主要内容包括以下几部分：　　 研究热蒸发金属银膜的微结构和光学性质。研究发现通常认为热蒸发金属薄膜的沉积速率越快越好的观点应该是适用于相对较低的速率上，当沉积速率过高的时候会引起蒸发源温度过高，致使银粒子易于形成较大粒子团沉积到基底上，影响了银粒子在基底上的迁移能力，导致薄膜生长过程产生晶体缺陷和结晶程度的降低，进而影响了银膜的成膜质量和光谱性能。在此基础之上，设计了可调沉积速率的真空镀膜机挡板，并实验了此挡板对热蒸发金属银膜的影响。实验证明，采用可调沉积速率挡板能有效地增强金属银膜在基片上沉积的均匀性和聚集密度。　　 以金属-介质薄膜中的典型代表多腔诱导透射滤光片为例，首先简述了滤光片的设计理念和制备工艺，并引出了多腔诱导透射滤光片的缺陷问题。通过观察，将缺陷分为点状缺陷和线状缺陷两大类，然后分别举例详细地分析了缺陷的形貌、元素组分，并在此基础上推断了缺陷的产生原因。最后采取了盐酸清洗工艺和改进制备工艺等措施，逐步降低了多腔诱导透射滤光片的缺陷数量。　　 设计制作两种特殊形状光学元件--圆锥镜和角锥棱镜的专用镀膜夹具。简单讨论了在这两种光学元件上制备银膜的制备工序，提出了一项工艺变更，有效地减少了金属银膜在特殊形状光学元件上的针孔缺陷。