MEMS仿生矢量水听器的优化设计

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当空间辐射中的高能带电粒子(如:高能质子和高能重离子)作用于半导体器件时,会在电离作用下产生一定的电荷,这些电荷在半导体器件敏感部位的不断积累导致器件的逻辑状态发生变化进而影响器件的正常工作,这种现象被称为单粒子效应(Single Event Effect,SEE)。此外,随着集成电路发展速度的加快,器件的尺寸变得日益缩小使得临界电荷值不断降低,从而导致器件对单粒子翻转愈发敏感。与此同时,航空航天
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