射频激励技术是近二十多年来发展起来的一种激光器泵浦技术。与直流放电相比较，射频放电具有电压低、效率高、易调制、无阴极溅射等诸多优点。而使用波导装置使激光器尺寸减小，模式也得到很好的控制。由于射频激励波导CO₂激光器体积小、效率高、调谐范围宽、波长正处于大气透射窗口等独特优势，它已成为激光雷达等应用的理想光源。折叠腔技术应用于射频激励波导CO₂激光器使激光器的功率／体积比得到进一步增加。本文回顾了射频激励波导CO₂激光器的发展历史，简要叙述了波导CO₂激光器折叠腔技术概况。对激光器所涉及到的气体射频放电激发基本原理和波导激光器基本原理进行了较全面的理论分析。给出一种紧凑型横向射频激励波导CO₂激光器的设计，用作激光雷达的主振激光器光源。采用了输出镜Ⅲ类耦合方式+U型折叠腔的设计方案，即仅含单根陶瓷方波导的“输出镜—波导”耦合空间的折叠。分析证明这是一种性能优越的折叠结构。所采用陶瓷波导长度320mm，截面尺寸2.5mm×2.5mm。实验获得良好的基模激光输出。在无催化剂的情况下，获得U型腔激光器输出功率3.5W和相同条件下的直线型激光器输出功率4.5W，证实了该U型腔设计的可行性。U型腔激光器较之直线型激光器的功率／激光器长度尺寸比得到提高，取得缩小激光器体积的预期效果。通过实验研究了输出镜透过率及耦合距离对激光器输出功率的影响，实验结果与理论基本相符。提出一种基于布氏窗原理的新型低损耗转折棱镜的设计方案，以期替代目前使用的平面镀金铜镜以提高反射效率。另外，对实验中选支光栅安装的三角法作了讨论。