新型BaTi<,2>O<,5>薄膜的脉冲激光沉积与结构调控

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【摘要】

：

本文采用电弧熔炼技术合成BaTi2O5纯相粉末,经热压烧结制备出较高致密度的BaTi2O5陶瓷,研究了烧结工艺对其结构和介电性能的影响；在此基础上,利用脉冲激光沉积技术,通过工艺调整和结构控制并引入与BaTi2O5相匹配的MgO薄膜缓冲层,在Si衬底上制备了(020)择优取向的BaTi2O5薄膜,为新型功能器件的应用提供了一种环境友好的铁电新材料。研究表明,采用电弧熔炼技术可以有效抑制BaTi2O

【作者】

：

王芳

【机构】

：

武汉理工大学

【发表日期】

：

2010年04期

【关键词】

：

BaTi2O5靶材 BaTi2O5薄膜 MgO缓冲层脉冲激光沉积择优取向

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