缺陷及其所带来的影响是IC芯片失效的主要原因.为提高激光探测系统对晶片上微粒缺陷的检测能力,本文建立了平面上球形粒子的数理模型,通过对此模型下的散射理论研究和散射场数据的可视化研究,获得了直观易懂的散射场分布图像,从而为工程师设计出灵敏而有效的诊断工具提供了有力的帮助.在散射理论的研究上,从用于粒子光散射计算的T矩阵方法的推导出发,并依据轴对称粒子的特点,对T矩阵进行了简化和变形,在考虑平面对粒子散射带来的影响时,引入反射矩阵来表达这种相互作用,并利用这些建立了相应的求解散射场系数的矩阵方程,从而求得空间任一点的散射场值.在散射场数据的可视化研究上,根据产生数据的特点,建立了相应的半球面上网格化的几何模型,利用散射场数据和模型网格点的对应并对数据进行颜色量化后,得到了半球面上的散射场的数据图像.最后,在改变散射计算输入参数的基础上,对不同条件下散射场图像进行了比较分析,从而得出了一些具有指导意义的结论.