近年来在半导体工业和液晶显示器制造工艺中，对清洁真空环境的要求越来越高，而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。螺杆型干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点，得到越来越多制造和应用单位的重视，在干式真空泵市场中占有重要的地位。在欧美和日本等发达国家，螺杆型干式真空泵在很多领域已经越来越多的代替了传统的有油泵。但由于螺杆泵加工难度大，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。为改变这种状况，实现螺杆型干式真空泵的国产化，本文采用参数化设计方法，旨在简化螺杆型无油真空泵的设计和加工过程，使其早日在中国实现产业化，为新兴工业的发展提供清洁的真空环境。 本文首先讨论了目前常用的螺杆型干式真空泵转子类型，给出了几种型线方程，分析了几种型线适用条件；接下来讨论了螺杆泵的泵体结构形式及轴上各零件的选择标准，给出了几种常用的泵体结构和轴类零件供选择。 在开发工具的选择方面，本文首先讨论了目前进行二次开发比较流行的开发平台和开发语言，比较了几种软件的优缺点，最后确定采用VB语言在Solidworks开发平台上进行参数化设计。 为了使程序具有更好的扩展性，在参数化设计前建立了关于螺杆泵转子、泵体及轴上零件结构参数的数据库，使程序运行中调用数据更加简单，同时也使得程序能适用于将来型线种类的增加和结构的改进。 螺杆型干式真空泵的参数化设计软件包括了以下两方面的内容：计算和绘图。利用选择的型线种类和输入的抽速计算出螺杆泵各零件的结构参数，根据计算出的参数，开发了绘制螺杆泵各零件和进行螺杆泵装配的通用VB程序。 利用编译好的程序设计了抽速为70l／s的双边对称型线螺杆型干式真空泵，并对其进行了装配，设计结果表明，该泵的结构满足设计要求，证明了本文编制的程序是正确可行的。