硼掺杂纳米硅浆料的激光熔覆机理及实验研究

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为了解决传统PERC型太阳能电池局部铝背场中P~+层载流子浓度不高,背面结深较浅及孔洞比例较高等问题,本文对纳秒激光在太阳能硅基片上熔覆一种重掺杂硼的纳米硅浆料的过程进行了基础性研究,并将此工艺兼容到PERC电池产线中以制备局部硼铝背场,分析硼铝背场对电池性能变化的影响。本文的主要研究内容为:(1)以重掺杂P型单晶硅为原料,通过脉冲放电和高能球磨组合工艺,制备出粒径(D50)在80nm左右的纳米硅颗粒;并将硅颗粒与有机载体充分混合制备出硅浆料。通过大量印刷试验,确定了最佳的有机载体配方。使得硅浆料具备良好承印性,以实现印刷过程中图案的精确转移;(2)结合半导体硅材料对光的吸收机理,考虑硅材料随温度变化的属性以及潜热、热源和边界条件等因素,分别采用“傅里叶传热方程”和“双温方程”研究纳秒和皮秒脉宽条件下激光熔覆纳米硅浆料的温度场分布,同时利用单因素仿真试验研究了纳秒激光作用下激光功率、扫描速度和重复频率对熔池中最高温度、基体材料的最高温度和熔池面积的影响规律;(3)利用工艺参数的正交试验对纳秒激光熔覆过程进行分析,结果表明:激光功率为26W,扫描速度为16m/s,重复频率为350kHz时,具有质量较好的表面形貌、截面熔覆层结构和较高的生产效率;(4)将纳秒激光熔覆工艺兼容到PERC电池生产工艺中进行电池试验,采用不同的工艺,对比分析试验组和对照组电池的效率,结果表明,试验组电池平均效率可达到21.65%,效率提升0.12%。
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