扩散/氧化炉是半导体工艺生产线上非常重要的一种工艺设备,用于分立半导体器件、集成电路制造过程中各种扩散、氧化、退火及合金工艺,也适用于对其他材料的特殊温度处理,是一种要求能长时间连续工作、高精度、高稳定性的自动控制设备。开发研制高性能的扩散/氧化设备对于促进我国半导体制造业的发展具有十分重要的意义。本文首先阐述了我国半导体装备制造业的发展概况与存在的问题,结合管控一体化的思想,提出引入以太网控制技术,使设备联网运行,以打破被称为“自动化孤岛”的单机自动化,实现半导体专用设备的集中监测和数据管理;然后针对应用于太阳能电池生产线上的扩散/氧化设备,进行了总体设计、硬件选型;由于扩散/氧化设备对炉温的控制精度要求高,作者重点对多种PID控制算法和PID参数整定技术进行了深入的研究,采用了三段加热式PID控温方式控制炉温,取得了很好的控制效果;系统软件设计采用了Visual Basic作为开发工具,利用数据采集卡驱动中的DLL,进行数据采集和控制输出,采用了数字滤波技术抗除干扰;通过合理的软件设计让设备具有工艺自动运行和报警处理等功能,设计的操作界面简洁实用;设计了一种基于以太网的设备联网运行方案,网络中的监控主机通过交换式集线器与多台设备联机,采用Winsock控件实现与下位机的通信,获取下位机进行工艺生产的实时数据和工艺曲线,利用Access进行数据查询和管理,方便企业上层及时获取生产的信息。单台扩散/氧化系统已经交付用户,实际运行情况良好;设备联网运行则还处于调试阶段,实验结果验证了基于Winsock控件进行联网通信的可行性,表明了本文研究成果的有效性和实用价值。