低压化学气相沉积设备控制系统的设计与实现

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低压化学气相沉积(Low Pressure Chemical Vapor Deposition,LPCVD)技术是薄膜太阳能行业中的核心技术,是生产透明导电氧化物(Transparent Conducting Oxide,TCO)玻璃的主要方法。TCO玻璃是指用物理或化学的方法在表面均匀沉积一层透明的导电氧化物膜的平板玻璃,主要用作薄膜太阳能电池的前基板(电极),它的性能对于薄膜太阳能电池的最终转换率有着相当大的影响[1]。TCO玻璃的生产过程繁琐,需要多个设备协同工作,在生产完成后需要用氮气清理腔
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