新型表面刻蚀装置的设计

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随着化石能源的耗尽,太阳能将成为未来的主要能源。要在地面上普及太阳电池的应用,关键在于制作材料的廉价化。本学位论文围绕等离子体制备太阳级硅的技术开展了一系列研究工作。平行电极反应室纯化硅的实验证明,硅粉在经过刻蚀提纯后,其杂质含量有了明显的降低,并且表面平整度也得到提高。但实验结果与理论计算值有约25%的误差,究其原因主要是实验装置的不完善等。其缺点主要体现在粉粒在反应室中的滞留时间过短和不能保证粉粒在沉降过程中始终在刻蚀速率最大处。针对直立平行板反应室的缺点,本文设计了一种带有
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永磁无刷直流电动机(简称BLDCM),具有结构简单、运行可靠、高能量密度,高效率等优点,在各个领域中得到广泛应用。当今电器的能耗问题成为各方关注的重点,无刷直流电动机高效率的优点显得越来越有价值,因此成为研究热点。在查阅大量国内外相关文献的基础上,本文对无刷直流电动机的控制系统特别是无位置传感器的控制策略进行了研究。本文首先简要介绍了无刷直流电动机的结构和工作原理。并根据无刷直流电动机的数学模型建
本论文将先驱体法引入三元系复合钙钛矿锑锰-锆钛酸铅(PZT-PMS)压电陶瓷系统的制备中。借助XRD,SEM,BET等分析手段研究了B位先驱体法制备PZT基陶瓷的反应机理和工艺过程。并且,在B位先驱体可与PbCO_3合成钙钛矿相粉料。最后,制备出了掺入改性氧化物成分的复合锑锰-锆钛酸铅陶瓷材料。对该系统压电、介电性能与烧成制度、以及A B位配比进行了测试和讨论。首先,我们使用两步合成法这种合成工艺
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电力市场下的无功优化和无功服务费用及其定价问题是关系到电力市场安全、稳定运营的重要课题,随着电力市场的不断发展,逐渐受到人们的重视,但由于对其研究起步较晚,尚未形成相对成熟的理论。本文对电力市场下的无功费用及其定价等问题进行了初步的分析与研究。本文的主要工作内容包括:首先,较系统地回顾和总结了国内外相关研究概况,重点分析了有关电力市场下无功服务费用、无功电价模型及其算法特点。其次,针对我国现阶段已
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电化学电容器(简称EC)能够快速充放电而且寿命长,被认为是介于二次电池和电容器之间的一种新型能源器件。它的电容量大,漏电流小,电压记忆性好,充放电简单而且循环次数多。电极材料是决定电化学电容器性能的主要因素之一。炭电极由于具有高的电导率,表面积分布范围宽,扩散内阻小,高温下的稳定性能较好,孔结构易于控制,与其它材料的复合和兼容性能较好,成本低廉等特点,是优良的电化学电容器电极材料。本文首先讨论了以
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目前我国乃至全世界的能源是以煤炭和石油这些不可再生能源为主,随着大量开发,不可再生能源保有量越来越少,并且随着常规能源过度消耗和环境污染问题日益突出,新能源和可再生能源的投入已被大多国家列入战略高度。风能作为一种可再生能源受到了越来越多国家的重视,尤其是在欧美等发达国家得到了很好的发展。我国风能资源充足,特别是在北方和西部地区以及东部沿海地区风能资源非常丰富,开发潜力很大。加快发展风力发利于我国能
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LiFePO_4作为一种新型锂离子电池正极材料,具有价格低廉、环境友好、循环性能好等优点。本文以碳热还原法制备LiFePO_4/C,重点研究了不同蔗糖加入量及掺杂Mg~(2+)对所制备的LiFePO_4晶体结构和性能的影响。利用粉末X射线衍射法(X-ray Diffraction,XRD),傅里叶-红外光谱法(Fourier Transform Infrared,FT-IR) ,扫描电子显微镜(S
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本文从同步发电机的机电作用机制的研究入手,指出了在电力系统中并联运行的发电机转子的摆动,归根到底是转子相对于其定子电流形成的旋转磁场间的相对运动。形成定子旋转磁场的电流由两个因素决定:一是转子电流的磁势,一是定子电流的磁势。而发电机定子电流的大小及相位在很大程度上受电力系统的电气联系情况制约。在dq0坐标系里,它们可以随转子的位置分解为d轴和q轴两个分量。研究发现,同步电机转子相对于其定子旋转磁场
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一套并网型风光互补发电系统的实际运行效果是否达到设计指标,是否符合实际的需求,如果没有实际运行数据验证,很难看出系统设计匹配的优劣。不同地区,太阳能、风能资源以及用电负荷情况有很大不同,如何评价系统及系统中主要部件的实际运行性能,进而对已安装的系统进行评估,最终给出不同地区最优系统设计方案是今后实施风光互补发电系统工程应解决的主要技术问题。为此,本文主要研究并网型风光互补系统数据采集监测系统。本文
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电力系统的运行经验表明,架空线路的故障大都是“瞬时性”的,因此,作为保证电力系统可靠供电和安全运行的重要措施之一,自动重合闸技术在电力系统架空线路中普遍应用。但是常规自动重合闸装置一般不具备识别瞬时性故障和永久性故障的能力,其重合带有一定的盲目性,当重合于永久性故障时,会对系统造成严重的危害。如果能够在重合之前预先判断故障性质(瞬时故障或永久故障),实现装置的自适应动作,则可避免重合于永久性故障,
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计算机辅助工艺设计(Computer Aided Process Design,CAPP)技术不仅解决了企业工艺过程设计的标准化和自动化问题,而且也解决了企业制造业信息化问题。同时,它又是企业建立计算机集成制造系统的核心技术,是企业缩短产品生产准备期、提高制造质量和优化制造资源的重要保证。这些年来,CAPP研究取得了很大的成就,但在实用化方面目前还是薄弱环节。论文以生产实际为背景,面向具体生产环境
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