基于CHP-C感光材料全息制备微纳光子结构研究

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在信息光子学的发展过程中,微纳光子结构因其独特的光波调控特性,已经成为当今国内外研究的热点,在物理、材料等众多领域引起了广泛关注,被认为是实现未来光子工业革命的材料基础,其潜在的应用为集成光学器件的发展提供了可行性,因此对微纳光子结构的实验制备研究将具有重要的应用意义。激光全息光刻技术具有操作便捷、成本低廉、制备周期短、制作面积大等优点,可以用来制备不同维度的光子结构,在光学波段微纳光子结构制备方面具有显著优势。本论文基于全息光刻技术,在具体深入研究了CHP-C感光材料记录特性的基础上,结合理论模拟结果,利用非对称五束光实验制备了二维新型光子结构,并进行了表征,实验结果可为微纳光子结构的进一步发展提供新的思路。本论文的主要内容包括:首先主要介绍了当前国内外微纳光子结构的发展现状;微纳光子结构的特征、应用;制备微纳光子结构的典型方法;全息光刻用感光材料的类型;并阐述了本文的研究意义。其次介绍了基于多束光干涉的全息光刻原理,分析了理论模拟方法。然后搭建双光束干涉光路,通过制备光栅结构,深入研究了CHP-C光刻胶的记录特性,包括吸收特性、对488nm波长激光的灵敏度、对碱性显影液浓度、显影时间的响应特性等,研究结果为获得高质量的微纳光子结构提供实验依据。接着根据理论模拟的结果,打破传统的对称光路设计,利用非对称5束光光路配置,基于CHP-C感光材料,实验制备了不同参数配置下的二维光子结构,并对制备结果进行了分析和表征。最后总结了本论文的研究工作,并给出所得的结论;基于目前已经完成的工作提出了下一步的工作计划,并做了相关展望。
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