21世纪以来，全球产业结构逐渐向“服务型经济”转型，高技术服务业在经济社会中的作用不断凸显。全球高技术服务业已成为具有独立特征并实现高速增长的产业，并呈现出持续快于高技术制造业的发展势头。高技术服务业作为高技术产业的重要组成部分，对促进产业优化升级、提高行业竞争力起着重要支撑作用。当前，我国正处于经济转型调整期，加快高技术服务业的发展对经济的转型升级具有重要的战略意义。本文通过对高技术服务业及其相关理论的研究，采用比较分析法描述性分析了我国高技术服务业的总体发展情况和17个省（市、自治区）的发展状况。为了深入研究我国区域高技术服务业发展水平和质量，构建了高技术服务业评价指标体系，运用熵值法综合评价我国各地区高技术服务业发展水平，对我国各地区进行了分类排序，发现我国各地区高技术服务业的发展可分成四个梯队，高技术服务业发展水平上东部地区明显高于中西部地区。继而运用数据包络分析方法分析我国各地区高技术服务业发展绩效水平，确认各地区高技术服务业的发展的规模效率及技术效率，得出现阶段各个地区发展高技术服务业的资源利用效率情况，一部分地区高技术服务业发展达到了规模效率和技术效率最优，总体上投入产出比较合理，并分析了部分地区绩效存在问题的主要原因。最后在上述分析和评价基础上提出了加快我国区域高技术服务业发展的对策建议。