【摘 要】
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本文系统地研究了在硬质合金上MPCVD沉积金刚石薄膜的实验过程中，甲烷浓度、沉积气压、气体流量、基体温度等不同实验工艺参数对金刚石薄膜质量的影响。确立了最佳的实验工艺参数。比较了不同预处理工艺对金刚石薄膜质量及薄膜与基底间结合力的影响。 详细介绍了自行研制的2450MHz／5KW带有石英玻璃窗、水冷却不锈钢腔体微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置。论述了包括微波系统、气路系统、真空系统
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本文系统地研究了在硬质合金上MPCVD沉积金刚石薄膜的实验过程中，甲烷浓度、沉积气压、气体流量、基体温度等不同实验工艺参数对金刚石薄膜质量的影响。确立了最佳的实验工艺参数。比较了不同预处理工艺对金刚石薄膜质量及薄膜与基底间结合力的影响。 详细介绍了自行研制的2450MHz／5KW带有石英玻璃窗、水冷却不锈钢腔体微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置。论述了包括微波系统、气路系统、真空系统、检测系统和保障系统等各部分的结构组成及基本功能。 金
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