【摘 要】
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柔性显示有着广阔的市场前景，但其核心元件——有机电致发光二极管(Organic light-emitting diodes, OLEDs)由于器件材料对水氧敏感而容易失效，需要封装以隔绝水、氧，保护器件。无机-有机复合薄膜封装具备高阻隔性能和柔性的潜力，适应于柔性封装趋势。本文设计了Al2O3-Alucone无机-有机复合薄膜的增透结构，采用原子层沉积技术和分子层沉积技术制备了复合薄膜，并研究了其
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柔性显示有着广阔的市场前景，但其核心元件——有机电致发光二极管(Organic light-emitting diodes, OLEDs)由于器件材料对水氧敏感而容易失效，需要封装以隔绝水、氧，保护器件。无机-有机复合薄膜封装具备高阻隔性能和柔性的潜力，适应于柔性封装趋势。本文设计了Al2O3-Alucone无机-有机复合薄膜的增透结构，采用原子层沉积技术和分子层沉积技术制备了复合薄膜，并研究了其封装性能。主要内容如下：
基于光学原理，采用传输矩阵法对薄膜透光率进行自主编程计算，研究和解释了薄膜折射率、厚度对薄膜透光率的影响。在此基础上对以PEN为基底的Al2O3-Alucone复合薄膜进行了增透结构设计。计算了2至5层Al2O3-Alucone叠层薄膜在不同子层厚度下的透光率，透光率在特定厚度范围内高于99%，相比基底提升9%。3层薄膜结构和5层薄膜结构分别具有透光率波动小和增透厚度区间宽、薄膜子层厚度小的优势，是较理想的增透结构。
采用原子层沉积技术与分子层沉积技术稳定制备Al2O3和Alucone薄膜。基于透光率计算结果和工艺因素设计20nmAl2O3/8nmAlucone/20nmAl2O3超薄复合薄膜结构并测试其封装性能。分别采用钙薄膜电学测试法测试了薄膜的水汽渗透率为2.03×10-4g/(m2?day)；采用弯折疲劳测试法测试得复合薄膜对Si3N4薄膜的裂纹密度具有14.8%的降低作用；采用UV-Vis测试薄膜相对基底具有4.34%的增透效果，且与计算吻合；最后将复合薄膜封装于器件测试可靠性，验证了复合薄膜的实际封装性能。
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