光学薄膜的激光损伤研究与薄膜特性的光热测量

来源 :中国科学院上海光学精密机械研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liangwang112
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该文报告了作者在基于比较薄膜制备手段、材料工艺参数以及膜系设计等方面因素所作的激光损伤实验和所得的相关结论;作者并在国内率先展了光学薄膜的激光预处理研究,建立了国内第一套应用于光学薄膜的小光斑扫描激光预处理实验装置,针对ZrO<,2>:Y<,2>O<,3>/SiO<,2>多层膜获得了7.5倍的零几率损伤阈值增强.围绕光学薄膜的光热测量研究,作者运用光热偏振技术以及表面热透镜技术等对光学薄膜及晶体的微弱吸收、表面形貌以及杂质、缺陷分布、特性等进行了测量,并搭建了三维扫描光热显微成像实验装置;基于菲涅尔衍射理论,作者在共线式光热探测技术上作出了理论模拟,以求统一解释光热偏转技术和光热透镜技术,克服了基于几何光学近似的光热偏转技术的缺陷.
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