高精度电容测微仪关键技术的研究

来源 :天津大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaok131
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
该文围绕国家自然科学基金重点项目"望远镜主动光学技术的预研"(以下简称"预研")中对纳米级微位移定位传感器提出的要求展开深入的研究.由于电容传感器具有非接触式测量、测量范围大、线性好、分辨力高等优点,该项目选用电容测微仪完成高精度的定位.它要求电容测微系统在-25um~+25um的测量范围内分辨力达到5nm/mV,线性度为5‰,稳定性好于20mV/h,传输距离为5米,在温度变化10℃/3h,相对温度70~80﹪的环境条件下对"预研"的实验装置中6个检测位置进行实时监测.由此分析研究问题的焦点集中为:(1)较大的测量范围要求的线性度指标较高.(2)传输信号距离较长.(3)对于高精度的测量,环境条件相对恶劣,而要求的稳定性指标较高.
其他文献
近年来,海洋开发飞速发展,海底管道作为一种输送油气的重要载体,由于所处的海洋环境非常复杂,将面临各种各样的风险。其中一项重要的风险就是遭受物体的撞击,而撞击管道的各种载荷
新课程标准强调动态生成、呼唤生成的课堂. 这与提前预设并不矛盾,因为生成的前提是预设,生成是充分预设后的精彩.本文就重点谈一谈在认真钻研教材、充分预测学情的基础上提
该文从三层结构信息系统的技术特征开始,介绍并比较了DCOM、CORBA和EJB规范,三层结构的优越性和所遇到的新问题,及如何使用工具开发三层结构的信息系统.论文重点论述了燃料运
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
运动物体的检测与目标的跟踪是计算机视觉领域的重要分支之一,自诞生以来得到了长足发展。现已广泛应用于军事、航空、交通运输、智能监控、考试系统、医学影像分析等领域。
结构动力优化设计是工程结构设计研究领域比较前沿性的课题。国内外学者在舱段有限元、船舶结构中剖面优化设计、舱段优化设计、响应计算和优化方法等方面已经做过大量的工作
电枢是电机的核心,将绕组嵌入骨架的装配工艺过程称为嵌线工艺。电枢嵌线工艺是电机制造过程中至关重要的工艺环节。但受限于国内生产厂家的嵌线工艺和技术水平,目前的绕线机大
该文介绍了电化学技术检测防腐层缺陷和测量土壤腐蚀参数的方法;开发了一套EIS检测仪,使电化学技术能够应用于防腐层缺陷的现场检测;介绍了CIPS检测方法,并深入研究CIPS方法
随着人们对车辆维修制度认识的不断提高,车辆检测越来越受到人们的重视。车辆检测行业经历了几次巨大的变革,已发展为今天的全自动检测。但是全自动检测还并没有达到真正的现代
该文首先介绍了红外技术的发展历程.该文主要围绕读出电路技术和视频信号预处理技术两方面开展研究.由于读出电路技术是红外焦平面阵列研制的关键技术之一.该文在第二章中针