X射线微探针技术具有可以定量分析、检测信噪比高等诸多优点，它在微区微量分析中是一种不可代替的技术，在地矿、生物医学、材料、环境等众多领域获得了广泛的应用。X射线聚焦组合透镜(XCRLs)是X射线微探针的关键器件，它的作用是将来自辐射源的X射线束聚焦成X射线微束，大幅度降低微探针的微区分析尺度。　　 论文对X射线微探针的核心部分XCRLs进行了研究：提出采用背面曝光技术进行沙漏状X射线组合透镜的制作。　　 论文由以下四部分组成：　　 首先，回顾XCRLs的发展历史，从制作材料和透镜结构两方面介绍了目前国内外XCRLs的研究进展，并介绍了XCRLs的应用领域。　　 其次，从XCRLs的基本折射理论出发，分析了沙漏状X射线组合透镜结构形成的基本思想及其折射聚焦理论；从聚焦性能、结构稳定性和实际工艺角度出发选择了五组不同参数的沙漏状组合透镜；应用Tracepro软件模拟了这五个透镜的聚焦特性。　　 再次，对现有光刻类型及光刻胶进行了分析总结，指出影响曝光效果的关键因素；分析了光刻工艺流程，找出各环节的影响因素。　　 最后，分析了SU-8光刻胶的性能及优缺点，选择其作为透镜材料；从背面曝光技术出发，设计了制作沙漏状组合透镜的工艺流程；对实验结果进行了分析和总结。