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光纤-金膜微腔声压传感单元的结构设计与测试
【摘 要】
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声压传感器在海洋探测、水下对抗等领域一直是研究的热点和重点发展对象。随着器件进入微米甚至纳米尺度,传感单元的结构设计和制造工艺难度不断提升,在实际制造之前需要通过理论计算为后期制作和装配工艺提供指导,对仿真设计和计算的需求增加。在目前的高灵敏度、可微型化声压传感单元结构中,膜片式微腔干涉/谐振结构最具应用潜力,其中膜片的选择是性能优劣的关键问题之一。贵金属膜片可通过物理气相沉积法制备使厚度达到几十
【出 处】
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武汉理工大学
【发表日期】
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2020年01期
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