磁控溅射法制备Ti--W--N复合膜和TiN/W--N多层膜及其性能研究

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【摘要】

：

随着高性能切削加工的发展,在高转速、高温极端服役条件下,刀具产生的严重磨损、摩擦氧化和表面疲劳,极大地限制了其使用寿命。国内企业使用最多的TiN涂层开始满足不了加工的需要,科研工作者开始采取往单一的薄膜,特别是Ti-N系薄膜里添加各种元素,或者制备多层膜的方法,以期达到更为优异的性能。本论文采用直流反应磁控溅射的方法,在不锈钢基底上制备了一系列W-N单层膜、Ti-W-N复合膜、TiN/WN多层膜。

【作者】

：

王长乐

【机构】

：

东北大学

【发表日期】

：

2015年01期

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