针对超细硬质合金加工残余应力过大，易导致产品最终磨削成形时产生裂纹甚至断裂的问题。本论文研究了真空退火及深冷处理对超细硬质合金加工残余应力的影响，旨在获得最佳的有效降低超细硬质合金加工残余应力的工艺参数。通过采用X射线衍射仪及扫描电子显微镜、横向断裂强度测试仪、硬度计等检测仪器，测量了真空退火及深冷处理前后材料的残余应力、抗弯强度、硬度及断裂韧性，并进行了断口形貌观察和物相分析。得到如下结论：　　（1）表面残余压应力对材料的抗弯强度、断裂韧性有显著影响，随表面残余应力的增加，材料的抗弯强度和断裂韧性增大。表面残余压应力的变化对硬质合金硬度的影响并不明显。　　（2）真空退火和深冷处理均能有效消除超细硬质合金残余应力。随真空退火温度的升高，材料表面残余应力的松弛率增大。延长退火保温时间，对残余应力松弛率影响不大。在－196℃、降温速率为10℃/min时进行深冷处理，材料残余应力的松弛率最大，但与真空退火处理相比，深冷处理降低残余应力的效果较差。（3）真空退火和深冷处理在有效降低材料表面残余应力的同时，会使得材料的抗弯强度、断裂韧性下降。其中，真空退火温度、深冷处理温度的影响最为显著，真空退火的保温时间和深冷处理的降温速率的影响对材料抗弯强度和断裂韧性的影响较小。　　（4）真空退火处理和深冷处理对超细硬质合金的断裂方式和物相结构无明显影响。　　（5）最佳真空退火处理工艺为：退火温度为900℃，升温速率5℃/min，随炉冷。最佳深冷处理工艺为：深冷处理温度－196℃，降温速率10℃/min，保温时间为30min，升温速度为1℃/min。