声学以及声学器件的快速发展及其应用领域的日趋广泛,导致其已成为与人类生活最贴切,最重要的一个研究领域。扬声器是最为重要的电声器件之一,其关键组成部分是振膜,而传统振膜材料一般是纸纤维,聚合物和金属等,也有一些新材料例如石墨烯、碳纳米管等。本论文主要围绕静电扬声器的振膜材料,对基于聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)振膜的静电式扬声器与基于单晶硅薄膜的静电式扬声器进行了一些探索性的工作。本论文的工作从基础研究开始,针对扬声器振膜的力学原理进行了充分的力学原理讨论以及分析模拟,并得出结论:扬声器的振膜应材料密度低,以保证扬声器拥有较高的灵敏度;材料弹性比率高,以保证扬声器具有较宽的频率响应范围;材料刚性高,以保证扬声器有较低的失真。我们基于PET薄膜成功制作出了单极式静电式扬声器,并完成了对已经制作出的几种静电扬声器的测试工作。对静电扬声器的理论分析包括两个方面,理论推导和软件模拟。由于振膜是由静电力驱动,其与商用的动圈式扬声器相比,具有更平坦的频率响应。可以高保真地实现声音重放,经测试,该样品可以直接接入音频电压播放音乐。另外,为了使电子产品更加美观,维修更加直观,也出于个人兴趣,在本章中简单的对透明扬声器、阵列扬声器以及带背腔的扬声器进行了设计改良、频谱分析以及频率测试。最后我们首次运用了大尺寸的自支撑单晶硅片设计出了硅基静电扬声器,其最大声压级可以达到94dB。大尺寸超薄硅拥有较小的有效弹性系数和小的质量密度,同时赋予了扬声器较好的低频和高频的响应,实现了较宽带宽的扬声器。由于硅有着较高的熔点和较好的耐水特性,使我们的扬声器可以工作在高温和潮湿的环境中,改善了由于温度及湿度变化带来的振膜材料老化现象以及损坏现象,增强了扬声器的稳定性,同时因为振膜足够轻薄,对频率响应及谐波失真等性能也有一定的改善。通过COMSOL Multiphysics仿真软件,对静电扬声器中薄膜的振动进行了直观的模拟以及对其响应特性进行了简单的对比研究,从而也验证了我们在之前一系列的测量的准确性。我们相信,该单晶硅扬声器不仅在静电扬声器大规模集成生产领域有着巨大的应用潜力,也将在硅微机电系统技术(MEMS)中具有广阔的应用前景。