氧化锌薄膜光学和光电导特性的研究

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【摘要】

：

ZnO是宽带隙半导体材料,具有优良的光学和电学性质,广泛应用于紫外发射器件、紫外激光器件和紫外探测器等领域。本论文采用KrF准分子脉冲激光沉积技术制备薄膜,系统的研究了ZnO薄膜的制备、光学和光电导的特性。论文的主要内容有:1.改变衬底温度和气氛氧压强,在Si衬底上生长了ZnO薄膜,测量了衬底温度为400℃,氧压为10~(-3)Pa-10Pa样品的光致发光(PL)光谱和X射线衍射(XRD)谱,结果

【作者】

：

梁德春

【机构】

：

曲阜师范大学

【发表日期】

：

2008年04期

【关键词】

：

脉冲激光沉积光致发光紫外探测探测器结构

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