【摘 要】
：
区熔(FZ)硅单晶是制作电力电子器件的主要原材料,产量大约占整个硅片市场6%～8%。高质量的电力电子器件的发展对区熔硅单晶的高完整性、高纯度、高均匀性及大直径化提出了要求
论文部分内容阅读
区熔(FZ)硅单晶是制作电力电子器件的主要原材料,产量大约占整个硅片市场6%～8%。高质量的电力电子器件的发展对区熔硅单晶的高完整性、高纯度、高均匀性及大直径化提出了要求。汽相掺杂单晶具有晶格损伤小、少子寿命高、生产周期短、掺杂命中率高及生产成本低等特点,随着电力电子器件快速发展,市场需求急剧增加。为了深入的研究并应用该项技术,本文对汽相掺杂工艺进行了研究和探讨。本文对不同工艺条件(设置不对称热场、增大固液交界面温度梯度、加强扰动)下采用汽相掺杂工艺进行了单晶生长试验。试验发现:热场设置是影响电阻率均匀性的主要因素,设置不对称温度场有利于固液交界面杂质的均匀分布,是降低区熔硅单晶径向电阻率不均匀性(RRV)的有效途径。另外,从试验结果可以看出:采用相同的掺杂工艺,单晶直径不同,掺杂效果不同;单晶直径越大,汽相掺杂单晶硅片的径向电阻率均匀性越差;径向电阻率不均匀度与单晶直径近似呈正比例关系。
其他文献
目的分析本院麻醉性镇痛药物的使用情况,为临床用药提供帮助。方法对本院2008年～2010年住院的肿瘤患者的麻醉性镇痛药物的处方进行分析。结果芬太尼透皮贴剂、盐酸曲马多缓释
随着世界日趋全球化,社会由传统化向现代化过渡与转型,人们的价值观念与价值取向出现了多元化倾向,各个国家、民族、地区之间在政治、经济、文化方面的普遍交往日益增多,也使
<正>在中国传统社会中,那些耗费体力、进行重复劳动的工匠们,与舞文弄墨的读书人相比较,他们的地位是卑微的,尽管他们创造了无数令人惊叹的物资文明。在古代西方,工匠们的地
研究植物吸水根系空间分布特征是建立植物根系吸水模型的基础。本文对极端干旱区荒漠河岸林胡杨的吸水根系空间分布特征进行研究。结果表明：在水平方向上，胡杨根长密度分布呈抛
目的分析遵义医学院附属医院住院患者抗菌药物使用情况,促进抗菌药物合理应用。方法收集我院2012年1至7月抗菌药物使用记录,以限定日剂量(DDD)为单位,计算抗菌药使用强度(AUD
社会冲突在社会发展过程中起着不可替代的推动作用,当然也有其负面的效应。新的时期,如何最大限度地避免和预防社会冲突,如何最大限度地发挥社会冲突的正面效能,是公安机关需
俗话说"终端为王",在现代市场营销过程中,无论营销过程竞争多么激烈,厂家之间的胜负最终还要看终端卖场的决战结果,而要取得最后的胜利,导购员将起到关键的作用。导购员的管
通过实验探究了不同Ru掺杂量对Ti/Ru/SnO2+Sb2O5电极电化学性能及表面结构的影响。结果表明:Sb含量10%,溶胶涂覆6层,煅烧温度600℃,煅烧时间1 h条件下,Ru掺杂量为10%的涂层电
目的对采用带涤纶套中心静脉导管维持血液透析治疗的患者,进行导管管腔内血栓形成情况调查,以了解不同封管周期的患者血栓形成情况,探讨合理的封管周期。方法将65例血管通路
简介LMPC(线性模型矩阵控制)的基本概念和控制原理,以38500 m3/h空分设备为例,讨论了LMPC控制矩阵中操作变量和控制变量的选取及控制方法,介绍LMPC的使用情况。