电子散斑干涉测量技术在微结构测试中的应用研究

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测试在研究和生产领域扮演着十分重要的角色。目前微结构的众多测试方法大多针对光学平滑表面,这给微结构的科学研究和生产测试等应用都带来了很大限制。电子散斑干涉技术拥有光学测量技术的高精度、非接触、全场测量等优点,又具有电子技术的高速度、自动化、操作简便等特长,还能对具有散射表面的物体进行变形测量;因此近年来深受各国工程界和研究者的青睐。目前,研究者们又不断努力将其应用于微观测试领域,以达到扩充微观测试方法的目的。本文在充分调研的基础上,设计并建立了结合相移技术的电子散斑干涉显微测试系
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