压电式MEMS传感器的稳健设计研究

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随着微机械加工技术的发展,MEMS传感器的研究受到广泛重视。其中压电式MEMS传感器因可实现多功能化、智能化、集成化和无需辅助电源等优势,有着极高的应用前景。然而MEMS传感器的特征尺寸在纳、微米量级,使得其力学行为和运动规律等与宏观机械系统有很大不同。传统机械设计理论不再适用于MEMS器件的设计,本文在压电式MEMS传感器的设计中引入稳健设计思想,对压电式MEMS传感器的稳健设计方法进行了理论研究、数值计算和仿真验证。本文分别研究了基于随机模型、容差模型和模糊模型的微传感器的稳健设计原理和建模方法
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