【摘 要】
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全文主要内容如下:1.介绍了二元光学、微光学、微光电子机械系统的发展,以及二元光学和衍射光学的理论及设计方法,介绍了微透镜阵列与红外焦平面阵列集成的研究进展.2.分析了
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全文主要内容如下:1.介绍了二元光学、微光学、微光电子机械系统的发展,以及二元光学和衍射光学的理论及设计方法,介绍了微透镜阵列与红外焦平面阵列集成的研究进展.2.分析了位相型菲涅耳衍射微透镜阵列的光学特性和设计理论,基于傍轴近似和标量衍射理论,推导出了菲涅耳衍射微透镜阵列的设计公式,并对衍射微透镜阵列的色散特性进行了分析和讨论.3.对采用多次掩模和离子束刻蚀技术制作衍射微透镜阵列的工艺技术进行了系统研究.4.通过考虑互相关联的光学和工艺参数,设计了3-5μm红外128×128硅衍射微透镜阵列.5.针对256×290PtSi红外焦平面阵列的相关结构参数,设计了256×290硅衍射微透镜阵列.6.对256×290PtSi红外焦平面阵列的背面单片集成衍射微透镜阵列的四个样品进行了测试,并与没有集成衍射微透镜阵列的256×290PtSi红外焦平面阵列进行了性能对比测试.7.利用X射线光电子谱(XPS)对HgCdTe光伏探测器工艺过程中的HgCdTe表面进行了测量、分析.
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