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利用物理气相沉积方法中的空心阴极离子束辅助多弧离子镀沉积技术,在高速钢W6Mo5Cr4V2表面沉积了(Ti,Al)N涂层；采用X射线衍射仪(XRD)、激光共聚焦显微镜(CLSM)分别检测和观察了涂层的物相及表面形貌,通过微纳米力学测试系统(UNMT-1 CETR)对涂层的摩擦系数、硬度、膜-基结合力进行了表征；对涂层的沉积机理、涂层的相组成与其力学性能关系等进行了研究；探讨了靶材成分对(Ti,Al)N涂层的相组成、表面质量及力学性能的影响。研究结果表明,通过对Ti-Al-N系各物相的热力学及力学基本数据的分析及计算,非平衡相Ti1-xAlxN为涂层中综合力学性能影响较大的物相,三元物相中Ti3AlN和AlTi3N最易生成,由于PVD过程为非平衡状态,采用其方法在本实验条件下制取的涂层主要物相由Al溶入TiN为基而形成的Ti1-xAlxN和AlTi3N构成。沉积层中Ti1-xAlxN相的数量随着Al含量的增加先增后减,50%Al时比例最高,此时制得的涂层具有最优异的综合性能,检测到沉积层的表面粗糙度0.3188,摩擦系数0.6074,硬度值34.19GPa,膜-基结合力37.5N。空心阴极离子束辅助多弧离子镀沉积(Ti,Al)N涂层,有利于形成结晶细小致密、连续的膜层；离子束轰击基体提高温度的同时也促进了“混合界面”的生成,从而提高了涂层-基体间结合力；离子束对多弧作用产生的粒子有附加的轰击和碎化作用,提高了粒子离化效果,显著减少了涂层中“大颗粒”现象,涂层的摩擦系数和表面形貌得到明显改善。(Ti,Al)N涂层试样在大气氛围中加热至800℃时涂层仍然保持良好的力学性能和表面形貌,物相没有发生改变,体现出Ti1-xAlxN和AlTi3N具有优异的热稳定性能。