【摘 要】
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光纤点衍射干涉仪是利用可见光实现对高精度凹球面面形检测的仪器.本文从光纤导波理论和常用干涉仪的结构原理出发,阐述了光纤点衍射干涉仪的检测原理,设计思路和实验中光纤
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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光纤点衍射干涉仪是利用可见光实现对高精度凹球面面形检测的仪器.本文从光纤导波理论和常用干涉仪的结构原理出发,阐述了光纤点衍射干涉仪的检测原理,设计思路和实验中光纤点衍射干涉仪的制作过程.光纤点衍射干涉仪避开了常用干涉仪标准镜精度限制,采用光纤衍射产生标准波面,对光纤的性能和制作提出了较高的要求.实验中采用2.4微米纤芯的单模光纤作为干涉仪的干涉臂,由计算机D/A卡输出电压控制PZT实现四步相移,采用两根光纤反射式结构构成干涉仪主体;用非球面耦合透镜和高精度五维调整架组合构成光纤耦合器;采用常规的抛光工艺对光纤端面进行抛光,取得了很好的实验效果.用实验设计的干涉仪对球面进行检测,把结果和ZYGO干涉仪的检测结果进行比较,并对其进行细致分析,得出影响干涉结果的主要因素和提高仪器性能的方法.利用ZEMAX光学设计软件进行实验结构设计和误差分析,找出限制仪器精度的瓶颈因素,提出仪器检测范围扩大的方法.并对现有的整个系统的误差进行评估,其结果基本符合我们的设计要求.
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