高速倾斜镜关键技术的分析和研究

来源 :中国科学院光电技术研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuganghy2
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该文所涉及的提高高速倾斜镜带宽的工作从两条途径具体展开:1、利用Algor FEAS有限元软件包对高速倾斜镜的各部件以及整体分别进行了动力学分析,主要得到两个结论:(1)四个压电驱动器以均匀对称分布的形式支承高速倾斜镜的镜面是较好的支承形式;(2)支承弯板的刚度不足是造成高速倾斜镜动力学性能较差的重要原因之一.在此两结论的基础上,对弯板进行增强刚度设计,并且采用四驱动器均匀对称分布的支承形式,得到高速倾斜镜的优化设计方案.对此方案的有限元动力学分析结果表明,采用优化设计方案可以提高倾斜镜发生谐振的频率点;2、设计特定自动增益控制电路,利用电涡流传感器实时获取高速倾斜镜镜面谐振运动的信息,这些信息经过控制电路处理后,通过改变高速倾斜镜的输入控制信号来对出现的谐振峰进行抑制.实验证明:实际设计的自动增益控制电路对高速倾斜镜的谐振峰有比较好的抑制作用.
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