【摘 要】
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本论文简要地介绍了钻地武器的国内外发展现状及其在国防建设中的重要作用，同时阐述了自适应引信的优点和发展趋势。 论文以钻地武器为背景，采用MEMS工艺技术设计一种耐5000
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本论文简要地介绍了钻地武器的国内外发展现状及其在国防建设中的重要作用，同时阐述了自适应引信的优点和发展趋势。 论文以钻地武器为背景，采用MEMS工艺技术设计一种耐50000g以上的、量程在1000～50000g基于MEMS工艺的高g值加速度计。本文运用有限元软件ANSYS对该加速度计的结构进行了应力分析和模态分析，仿真验证了在50000g的冲击环境下加速度计的应力、最大位移、模态响应，确保该加速度计在大冲击环境下安全可靠并能准确工作。除了采用有限元分析外，还采用矩阵方法对该结构各方面进行了分析，此方法对优化工程设计十分有用。
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