该文所指超净介质包括超净气体和超净液体.因为在中国,超净液体中颗粒检测的研究和生产基础较差、技术难度较高,所以该文将其作为重点讨论对象.超净介质中颗粒污染物的检测方法中,常见的有光学颗粒计数仪、库尔特计数仪和凝结核计数仪.光学颗粒计数仪是一种集激光、微电子、精密机械和计算机软、硬件技术于一身的选进手段.它具有检测速度快、干扰小、工作可靠、自动化程度高、易于在线检测等优点,具有广泛应用前景.该文概述了它们的工作原理、性能指标、结构特点及发展动态等.该文在理论研究的基础上,设计制造了光散射法和光阻法两套实际装置.并对装置中的光学系统、试样区结构、测量区定义、光电探测、电子线路、接口电路、计算机系统以及信号甄别、粒径分档进行了讨论和说明.两套装置分别对国家标准化物质中心提供的三种标准颗粒的实测结果均显示了与理论计算结果的一致性.