【摘 要】
:
本论文研究了图形化蓝宝石衬底GaN基蓝光发光二极管的制备,重点研究了高密度图形化蓝宝石衬底的制备过程中所遇到的问题及其解决办法。通过对电感耦合等离子体(ICP)刻蚀
论文部分内容阅读
本论文研究了图形化蓝宝石衬底GaN基蓝光发光二极管的制备,重点研究了高密度图形化蓝宝石衬底的制备过程中所遇到的问题及其解决办法。通过对电感耦合等离子体(ICP)刻蚀机理的分析,研究ICP刻蚀设备的各个参数如压强、刻蚀功率、偏压功率、气体流量对蓝宝石刻蚀过程中产生的影响。通过调节 ICP 刻蚀参数得到不同的蓝宝石与光刻胶的刻蚀选择比,灵活修饰蓝宝石的刻蚀图形。
本论文通过分析几种蓝宝石衬底图形形貌的制备方法,分别制作了圆锥形貌、盾牌形貌、三棱锥形貌的图形衬底,进行了 GaN 外延生长后应用于蓝光发光二极管制作。通过XRD、PL、EL 等测试分析,发现在所用的图形化蓝宝石衬底中,圆锥形貌图形衬底上所制备的发光二极管光电性能最好。
本文通过对圆锥形貌的图形衬底进行优化,分析了蓝宝石衬底上不同图形间距对外延生长的影响,并应用于254×584μm2的GaN基蓝光发光二极管,分析其在20mA工作电流条件下正向电压和光输出功率的变化,在优化参数下制得的蓝光发光二极管在直流电流20mA下的正向电压2.99V,光输出功率28.22mW,静电释放(Electronic Static Discharge,简称ESD)良率为92.57%,封装芯片亮度为2768.6mcd,光通量为7.894lm。与无蓝宝石图形衬底GaN外延片制备的蓝光发光二极管比较,光输出功率提升了41.2%。
其他文献
目前糖尿病已成为最常见的慢性代谢性疾病之一,而2型糖尿病患者合并慢性阻塞性肺疾病、肿瘤、血液系统疾病、肾病、皮肤病、风湿免疫病等时往往离不开糖皮质激素(glucocordic
油菜是世界上最重要的油料作物之一,随着全球对菜籽油需求的快速增长以及对品质要求的提高,提高含油量及改良菜籽油品质成为当前育种的主要目标之一。解析含油量及相关性状的遗
以图形图像、科学计算、大数据分析等应用为代表的高密度计算应用领域,具有数据吞吐量大、实时性要求高的特点,对微处理器的处理能力、数据吞吐率以及处理并行度等均提出了更
系统级芯片(System on Chip,SOC)可以通过对IP(Intellectual Property)核的重用来降低设计的复杂度和风险,缩短产品的上市周期。不过这种新的设计流程以及不断增大的芯片规模给
本文利用MGE(MobileGeneticElements,移动遗传因子)-PER技术、SSR(SimpleSequenceRepeat,简单重复序列)-PER技术和RAPD(RandomAmplifiedPolymorphicDNA,随机扩增多态性DNA)-PER
人端粒酶催化亚单位是人端粒酶各组分中唯一在肿瘤组织中表达而在正常组织中不表达的亚基。鉴于端粒酶的激活和肿瘤密切相关,而hTERT基因的表达又是端粒酶激活系列反应中
随着社会不断地发展,人们对信息传输的需求也日益增长,光纤通信已成为当前通信技术的热点。与通常电缆通信和微波通信相比,光纤通信有着频带宽、通信容量大、传输损耗低等突出优
由于其众所周知的性质磁几何材料近来受到了高度的关注。几何阻挫可以引起诸多的未知新颖量子状态,羟基过渡金属卤化物M2(OH)3X(M=Mn,Fe,Co,Ni,Cu;X=Cl,Br,(I))是一种新颖的磁几何
本研究以山东省37 个种植面积较大的小麦品种(Triticum aestivumL )为材料,研究了普通小麦醇溶蛋白和谷蛋白在Gli-1(Gli-A1、Gli-B1 和Gli-D1)、Gli-2(Gli-A2、Gli-B2 和Gli-D2)和Glu-1(Glu-A1、Glu-B1 和Glu-D1)位点等位基因的组成特点,在此基础上研究了醇溶蛋白和谷蛋白各主要位点的遗传多样性,并初步鉴定了与面包加工
高密度芯片封装基板优化设计是现代集成电路工艺发展的主要方向之一。布线密度加大、板层数加多、高频特性带来的信号完整性问题以及高功耗带来的电源完整性问题是高密度芯片