随着低温等离子体的广泛应用，对等离子体各项参数的控制越来越受到关注，等离子体Langmuir探针诊断是一种传统的测量等离子参数的实验方法，因其装置结构简单、成本低廉、测量信息丰富而得到广泛应用。　　 本论文对我们使用的等离子体Langmuir探针诊断系统从整体上进行了的介绍，包括探针阵列、电机控制、扫描电源、数据获取系统、计算机系统等几个部分，同时给出了系统的设计指标。扫描电源驱动等离子体探针阵列得到相应的探针电压和探针电流信号，数据获取系统对探针上的电压、电流信号进行采集，并与上位机进行通信。计算机系统对整个系统的动作进行控制。　　 本论文的重点内容是扫描电源和数据获取系统的设计与实现。针对探针诊断系统的整体方案，我们设计三块电路板联合工作的电子学结构，包括扫描信号产生板、信号光电隔离板、数据采集板。　　 扫描信号产生板的主要工作是产生幅度±50V、频率可调的三角波扫描信号驱动等离子体探针，并利用取样电阻使探针上的电流信号转换为电压信号以便于采样。　　 信号光电隔离板主要工作是对探针上的电压、电流信号在采样前进行光电隔离并调整幅度，以符合ADC的输入范围并保护数据采集板。　　 数据采集板是数据采集系统的核心，负责与计算机系统的通信并控制ADC的采样过程。其控制逻辑由FPGA完成，负责数据的组织、上传与命令的解释、执行。数据采集板与上位机的通信使用的是USB2.0接口，具有高效、通用性好的特点。　　 本文介绍了扫描信号产生板、信号光电隔离板、数据采集板的测试结果，并完成了系统的搭建与等离子体探针进行了联合调试。从结果看，我们的电子学系统完成了设计目标。　　 本文的最后对工作进行了总结，同时根据调试时发现的问题提出了改进的建议，为下一步的工作提供参考。