纳米级精密定位系统关键技术的研究

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随着科学技术的发展和人们研究领域的不断拓宽,操作对象已从宏观领域扩展到微观领域.为完成显微外科、细胞操作、超精密加工及测量、精微调整及装配等操作,对运动系统提出了更高的要求,需要达到纳米级的定位精度.该文结合国家"863"计划和黑龙江省杰出青年基金项目对纳米级精密定位系统中的关键技术进行了研究,包括压电陶瓷致动器特性分析及建模、驱动电源、电容式微位移检测系统、精密定位控制方法等方面.通过理论研究和实验验证,在论文研究工作基础上构建的纳米级精密定位系统具有优异的技术指标.这对促进中国超精密加工、装配和检测技术,航空航天技术,生命科学技术等领域的研究和发展具有重要的理论意义和实际应用价值.
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